金属镀层成分检测 材料镀层厚度检测

在利用扫描电子显微镜测量出每层材料厚度。

扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）于20世纪60年代问世，用来观察表本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了表本的表面结构。为了使表本表面发射出次级电子，在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。

扫描电镜的特点

和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点：

(一)能够钟观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

(二)样品制备过程简单，不用切成薄片。

(三)样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。

(四)景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

(五)图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。

(六)电子束对样品的损伤与污染程度较小。

(七)在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。