超纯水（Ultrapure water）又称UP水，超纯水是为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水。是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。


超纯水检测范围：

电子级超纯水，工业超纯水，医用超纯水、电子级水、纯化水检测等。

超纯水检测项目：

ROHS 检测、REACH 检测、中英文 MSDS、货物运输条件鉴定、微粒子检测，电阻率检测，电导率检测、微生物检测，重金属元素检测、水质检测，标准离子含量，余氯检测，二氧化硅检测，微量元素检测，吸光度检测，细菌总数检测，pH、铝、钠、铁、锰、铜、锌、氯化物、硫酸盐、溶解性总固体、总硬度、耗氧量、氨氮、铬（六价）、镍、铍、镁、钠、铅、硼、砷、锑、铁、铜、钡、钒、镉、铬、汞、钴、铝、锰、硒、锌、钼、钾、硒（四价）、铊、银、锶、锂、硬度检测。

超纯水检测标准：

GB/T 6682-1992 分析实验室用水规格和试验方法

ASTM D4453-2011 超纯水试样处理规程

ASTM D5127-2007 电子和半导体工业用超纯水的指南

ASTM D7980-2015 对半导体工业中超纯水瞬时样品阴离子进行离子色谱分析的指南

JIS K0550-1994 超纯水中细菌数的试验方法

JIS KO551-1994 超纯水中总有机炭(TOC)的试验方法

JIS K0552-1994 超纯水中电导率的试验方法

JIS K0553-2002 超纯水中金属元素的试验方法

JIS KO554-1995 超纯水中微粒子测定方法

JIS KO555-1995 超纯水中二氧化硅的试验方法

JS KO556-1995 超纯水中阴离子的试验方法