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广州能谱仪EDS检测 产品表面异物分析

更新时间
2023-03-30 16:50:54
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详细介绍

能谱仪EDS检测 产品表面异物分析


  当材料及零部件表面出现未知物质,不能确定其成分及来源时,可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。

  分析方法:

  根据样品实际情况,以下分析方法可供选用。

  仪器名称

  信号检测

  元素测定

  检测限

  深度分辨率

  适用范围

  扫描电子显微镜(SEM)

  二次及背向散射电子&X射线

  B-U (EDS mode)

  0.1 - 1 at%

  0.5 - 3 μm (EDS)

  高辨析率成像

  元素微观分析及颗粒特征化描述

  X射线能谱仪(EDS)

  二次背向散射电子&X射线

  B-U

  0.1 – 1 at%

  0.5 – 3 μm

  小面积上的成像与元素组成;缺陷处元素的识别/绘图;颗粒分析 gt;300nm)

  显微红外显微镜(FTIR)

  红外线吸收

  分子群

  0.1 - 1 wt%

  0.1 - 2.5 μm

  污染物分析中识别有机化合物的分子结构

  识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体(材料识别)

  量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 (Si-H vs. N-H)

  污染物分析(析取、除过气的产品,残余物)

  拉曼光谱(Raman)

  拉曼散射

  化学及分子键联资料

  >=1 wt%

  共焦模式

  1到5 μm

  为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构

  拉曼,碳层特征 (石墨、金刚石 )

  非共价键联压焊(复合体、金属键联)

  定位(随机v. 有组织的结构)

  俄歇电子能谱仪(AES)

  来自表面附近的Auger电子

  Li-U

  0.1-1%亚单层

  20 – 200 ?侧面分布模式

  缺陷分析;颗粒分析;表面分析;小面积深度剖面;薄膜成分分析

  X射线光电子能谱仪(XPS)

  来自表面原子附近的光电子

  Li-U化学键联信息

  0.01 - 1 at% sub-monolayer

  20 - 200 ?(剖析模式)

  10 - 100 ? (表面分析)

  有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析

  测量表面成分及化学状态信息

  薄膜成份的深度剖面

  硅 氧氮化物厚度和测量剂量

  薄膜氧化物厚度测量(SiO2, Al2O3 等.)

  飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)

  分子和元素种类

  整个周期表,加分子种类

  107 - 1010at/cm2 sub-monolayer

  1 - 3 monolayers (Static mode)

  有机材料和无机材料的表面微量分析

  来自表面的大量光谱

  表面离子成像


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